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公司主要產品有:半導體工藝設備、硅基集成電路和器件工藝設備、太陽能電池片工藝設備、LED工藝設備、碳化硅、氮化鎵工藝設備、納米、磁性材料工藝設備、航空航天及國家工藝設備等。并可根據用戶需求提供定制化的設備和工藝解決方案。
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